国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(5) H(4) B(3)
IPC大类 H01(4) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) C23C(2)
IPC C01B031/04(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
H01L051/00(2)
发明人 LEE E(5)
公开年 2020(2)
申请年 2015(2)  2019(2) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(5)