| 国家/地区 | 韩国(3) 美国(2) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 |
C01(2)
C23(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2)
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| IPC | C01B032/186(2) C23C016/26(2) |
| 发明人 |
YOO M S(3)
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| 公开年 | |
| 申请年 | 2019(2) |
| 专利权人 |
CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(3)
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CHO K W, LEE H C, YOO M S, CHUNG H J
CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W, ZHAO J, YU M, LI X
