国家/地区 韩国(3) 美国(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC C01B032/186(2) C23C016/26(2)
发明人 YOO M S(3)
公开年
申请年 2019(2) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(3)