国家/地区 中国(5)
IPC部 C(3) G(2)
IPC大类 G03(2)
IPC小类 G03F(2)
IPC G03F007/20(2)
发明人 CHEN X(5) GU M(2) LUAN H(2)
ZHANG Q(2)
公开年 2022(5)
申请年 2022(4) 
专利权人 CHEN X(5)