| 国家/地区 | 中国(5) |
| IPC部 | C(3) G(2) |
| IPC大类 | G03(2) |
| IPC小类 | G03F(2) |
| IPC | G03F007/20(2) |
| 发明人 |
CHEN X(5)
GU M(2)
LUAN H(2)
ZHANG Q(2) |
| 公开年 |
2022(5)
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| 申请年 | 2022(4) |
| 专利权人 |
CHEN X(5)
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GU M, ZHANG Q, CHEN X, LUAN H, WAN Z
GU M, ZHANG Q, LUAN H, CHEN X
DU S, QU S, QI X, CHEN X
