国家/地区 韩国(3)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H05(2)
IPC小类 C01B(2) H05H(2)
IPC C01B031/02(2)
发明人 KIM S(3) BYUNG G S(2) BYUNG H K(2)
KYU H L(2) MOON W L(2) MYOUNG S S(2)
SUN Y C(2) YONG D K(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3)
专利权人 CHEORWON PLASMA RES INST(3)