国家/地区 韩国(5)
IPC部 B(4) C(4) H(4)
IPC大类 C01(4) B82(3) H05(3)
IPC小类 C01B(4) B82B(3) B82Y(2)
H05H(2)
IPC C01B031/02(3) B82B001/00(2) B82B003/00(2)
发明人 KIM S(5) BYUNG G S(2) BYUNG H K(2)
CHOI S Y(2) KYU H L(2) LEE K H(2)
MOON W L(2) MYOUNG S S(2) RYU S H(2)
SHIN M S(2) SON B G(2) SUN Y C(2)
YONG D K(2)
公开年 2013(5)
申请年 2012(3)  2013(2) 
专利权人 CHEORWON PLASMA RES INST(5)