国家/地区 中国(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/04(2) H01L021/336(2)
发明人 DING G(2) JIANG M(2) LI X(2)
SUN J(2) XIE X(2)
公开年 2013(4)
申请年 2013(4)
专利权人 CHINESE ACAD SCI SHANGHAI MICROSYSTEM(4)