| 国家/地区 | 中国(4) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 | C01(2) H01(2) |
| IPC小类 | C01B(2) H01L(2) |
| IPC | C01B031/04(2) H01L021/336(2) |
| 发明人 |
DING G(2)
JIANG M(2)
LI X(2)
SUN J(2) XIE X(2) |
| 公开年 | 2013(4) |
| 申请年 |
2013(4)
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| 专利权人 |
CHINESE ACAD SCI SHANGHAI MICROSYSTEM(4)
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DING G, JIANG M, LI X, SUN J, XIE X, XU C, XU X
DI Z, WANG G, WANG X, ZHANG M, ZHENG X
