国家/地区 韩国(7) 美国(5)
IPC部 C(5) H(5) G(3)
IPC大类 C01(4) H01(4) G01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(3)
IPC C01B031/04(3) C01B031/02(2) H01L031/0224(2)
H01L031/028(2)
发明人 CHOI H K(7)
公开年 2015(3) 2016(3)
申请年 2014(4)  2016(2) 
专利权人 ELECTRONICS TELECOM RES INST(7)