国家/地区 日本(3)
IPC部 G(2) H(2)
IPC大类 G01(2) H01(2)
IPC小类 G01N(2) H01L(2)
IPC G01N027/12(2)
发明人
公开年 2016(4)
申请年 2015(4)
专利权人 FUJITSU LTD(4)