| 国家/地区 | 日本(4) |
| IPC部 | H(4) C(2) |
| IPC大类 | H01(4) C01(2) |
| IPC小类 | H01L(4) C01B(2) |
| IPC | H01L051/05(3) H01L051/30(2) |
| 发明人 | HAYASHI H(2) YAMADA Y(2) |
| 公开年 |
2020(4)
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| 申请年 |
2019(4)
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| 专利权人 |
FUJITSU LTD(4)
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YAMAGUCHI J, HAYASHI H, YAMADA Y
OTOMO M, HAYASHI H, YAMADA Y
