国家/地区 日本(4)
IPC部 H(4) C(2)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(2)
IPC H01L051/05(3) H01L051/30(2)
发明人 HAYASHI H(2) YAMADA Y(2)
公开年 2020(4)
申请年 2019(4)
专利权人 FUJITSU LTD(4)