| 国家/地区 | 日本(5) |
| IPC部 | H(4) C(3) |
| IPC大类 |
H01(4)
C01(3)
C07(3)
|
| IPC小类 |
H01L(4)
C01B(3)
C07C(2)
|
| IPC |
C01B032/182(3)
H01L021/336(3)
H01L029/786(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) C07C025/22(2) |
| 发明人 |
HAYASHI H(2)
OTOMO M(2)
YAMADA Y(2)
YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 |
2022(5)
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| 申请年 |
2020(5)
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| 专利权人 |
FUJITSU LTD(5)
|
YAMAGUCHI J, HAYASHI H, YAMADA Y
OTOMO M, SATO S, HAYASHI H, YAMADA Y
