国家/地区 日本(5)
IPC部 H(4) C(3)
IPC大类 H01(4) C01(3) C07(3)
IPC小类 H01L(4) C01B(3) C07C(2)
IPC C01B032/182(3) H01L021/336(3) H01L029/786(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) C07C025/22(2)
发明人 HAYASHI H(2) OTOMO M(2) YAMADA Y(2)
YAMAGUCHI J(2)
公开年 2022(5)
申请年 2020(5)
专利权人 FUJITSU LTD(5)