国家/地区 韩国(7) 美国(3) 中国(2)
IPC部 C(5) H(3) B(2)
IPC大类 C01(5) H01(3) C23(2)
IPC小类 C01B(5) H01L(3) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(2) H01L021/02(2)
发明人 HAM M H(7)
公开年 2016(3) 2018(2)
申请年 2014(3)  2017(2) 
专利权人 GWANGJU INST SCI TECHNOLOGY(7)