国家/地区 美国（3） 韩国（2）
IPC部 C（3） B（2） H（2）
IPC大类 B01（2） C01（2） C23（2）
H01（2）
IPC小类 B01J（2） C01B（2） C23C（2）
H01L（2）
IPC C01B031/04（2） H01L021/02（2） H01L029/16（2）
H01L029/786（2） H01L051/52（2）
发明人 CHO S（2） CHO S M（2） PARK C（2）
PARK C H（2） SEO S（2） SEO S A（2）
SHIN S（2） SHIN S M（2）
公开年 2017（2）
申请年 2016（3）
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD（3）

Graphene-based laminate used in e.g. organic light emitting device, transistors, comprises substrate, graphene layer on substrate, and inorganic layer comprising fluorine-containing lithium compound, formed on graphene layer.

PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, PARK C H, CHO S M, SEO S A, SHIN S M

Preparing graphene-based thin-film laminate used in e.g. transistor, comprises conducting cycle having e.g. contacting surface of graphene onto substrate with non-metal precursor gas and activating surface of graphene with plasma N times.

PARK C, CHO S, SEO S, SHIN S, KIM T, KIM S, PIAO Z, SEO S A, SHEN Z, PARK C H, CHO S M, SHIN S M, KIM T K, KIM S Y

Chamber for synthesizing graphene at high-temperature/high-vacuum environment, has auxiliary heater placed between substrate and main heater and for heating auxiliary space between substrate and auxiliary heater for synthesizing graphene.

WON D, NAM W