国家/地区 韩国(5) 美国(5) 中国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2)
IPC部 B(4) C(4) H(4)
IPC大类 B82(4) C01(4) H01(4)
C23(3) H05(2)
IPC小类 B82Y(4) C01B(4) H01B(4)
C23C(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(4) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
C01B031/04(3) C23C016/26(2) H01B001/04(2)
H01B005/14(2)
发明人 HONG B(5)
公开年 2012(3) 2011(2)
申请年 2011(3) 
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD(5)