国家/地区 韩国(4) 美国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(4) C23(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(2)
IPC C01B031/04(4) C23C016/26(2)
发明人 KIM K S(2) KWON Y D(2) PARK C H(2)
公开年 2016(5)
申请年 2015(3) 
专利权人 HANWHA TECHWIN CO LTD(5)