国家/地区 中国(4)
IPC部 B(2) C(2) H(2)
IPC大类 C23(2) H01(2)
IPC小类 C23C(2) H01G(2)
IPC C23C016/26(2)
发明人 CHEN S(4)
公开年 2016(4)
申请年 2015(4) 
专利权人 HARBIN INST TECHNOLOGY(4)