国家/地区 日本(3) 美国(2)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(3)
IPC C01B031/02(3) H01L021/336(3) H01L029/786(3)
H01L029/06(2)
发明人 WADA Y(3)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 HITACHI LTD(3)