| 国家/地区 | 日本(3) 美国(2) |
| IPC部 | C(3) H(3) |
| IPC大类 | C01(3) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(3) H01L(3) |
| IPC |
C01B031/02(3)
H01L021/336(3)
H01L029/786(3)
H01L029/06(2) |
| 发明人 |
WADA Y(3)
|
| 公开年 | 2011(2) |
| 申请年 | 2010(2) |
| 专利权人 |
HITACHI LTD(3)
|
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S
