国家/地区 中国(4)
IPC部 H(4) B(2)
IPC大类 H01(4)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L029/16(3) H01L051/05(3) H01L051/30(3)
H01L021/04(2) H01L021/28(2) H01L021/316(2)
H01L021/336(2) H01L027/12(2) H01L029/66(2)
H01L029/78(2) H01L029/786(2) H01L051/40(2)
发明人 LIN Y(2) LIN Y M(2)
公开年 2011(3)
申请年 2010(2) 
专利权人 IBM UK LTD(4)