国家/地区 中国(3) 德国(3) 美国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L029/16(3) C01B031/04(2) H01L021/02(2)
H01L021/324(2)
发明人 RUHL G(3) RUHR G(3)
公开年 2016(3)
申请年 2015(2) 
专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG(3)