| 国家/地区 | 中国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(3) |
| IPC大类 | C01(3) |
| IPC小类 | C01B(3) |
| IPC | C01B032/194(3) |
| 发明人 |
LI N(3)
XIA Y(3)
JIE X(2)
LU W(2) ZHAO L(2) |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 |
2019(3)
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| 专利权人 |
INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(3)
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LU W, XIA Y, LI N, ZHAO L, LENG X, HE M, JIE X
