国家/地区 中国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/194(3)
发明人 LI N(3) XIA Y(3) JIE X(2)
LU W(2) ZHAO L(2)
公开年 2021(2)
申请年 2019(3)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(3)