国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/336(2) H01L029/78(2)
发明人 HAN M(2) JI Z(2) LIU M(2)
LIU X(2) SHANG L(2) WANG H(2)
公开年 2012(3)
申请年 2010(3)
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(3)