| 国家/地区 | 中国(3) |
| IPC部 | H(3) |
| IPC大类 | H01(3) |
| IPC小类 | H01L(3) |
| IPC | H01L021/336(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 |
HAN M(2)
JI Z(2)
LIU M(2)
LIU X(2) SHANG L(2) WANG H(2) |
| 公开年 |
2012(3)
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| 申请年 |
2010(3)
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| 专利权人 |
INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(3)
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LIU X, LIU M, HAN M, JI Z, WANG H, SHANG L
LIU X, LIU M, HAN M, JI Z, WANG H, SHANG L
