国家/地区 中国(3) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L029/78(3) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
发明人 ZHU H(3)
公开年 2012(3)
申请年 2011(3) 
专利权人 INST MICROELECTRONICS CHINESE ACAD SCI(3)