国家/地区 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3) H(3)
IPC大类 B82(3) H01(3)
IPC小类 B82Y(3) H01L(3)
IPC B82Y040/00(3) H01L021/02(2) H01L021/36(2)
H01L029/06(2) H01L033/00(2) H01L033/02(2)
H01L033/12(2)
发明人 KIM S(3) AN S(2) AN S J(2)
KIM S H(2) LEE D(2) LEE D G(2)
公开年 2012(3)
申请年 2011(3) 
专利权人 KIM S(3)