国家/地区 美国(15)
IPC部 B(11) C(11) H(9)
G(2)
IPC大类 B82(10) C01(9) H01(9)
C23(5) B01(3) B05(3)
B32(3)
IPC小类 B82Y(9) C01B(9) H01B(6)
H01L(6) C23C(5) B82B(4)
B05D(3) B32B(3) B01J(2)
IPC C01B031/02(7) B82Y030/00(6) B82Y040/00(5)
C01B031/04(5) H01B001/04(5) B82B003/00(4)
C23C016/26(4) H01L029/78(4) B82Y099/00(3)
H01L021/336(3) B01J019/12(2) B05D005/12(2)
B32B005/16(2) B32B009/00(2) H01B001/20(2)
发明人 CHO B J(4) KIM S O(3) HAN T H(2)
HONG S(2) HWANG J(2) JEON S(2)
KIM H(2) KIM J E(2) LEE D H(2)
LEE K J(2) MUN J H(2)
公开年 2012(6) 2011(5) 2013(3)
申请年 2012(6)  2010(4)  2011(4) 
专利权人 KOREA ADV INST SCI TECHNOLOGY(15)