国家/地区 韩国(11) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(10) B(7) H(4)
G(2)
IPC大类 C01(9) B01(6) H01(4)
C23(2) G01(2)
IPC小类 C01B(9) B01J(6) C23C(2)
G01N(2) H01B(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(9) B01J019/08(2) B01J019/10(2)
C23C016/26(2) H01B001/04(2)
发明人 CHOI I S(2) FEI L(2) LEE K J(2)
SEO T S(2)
公开年 2013(11)
申请年 2011(11)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(11)