国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(2) H(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L029/16(2) H01L029/78(2) H01L029/786(2)
发明人 CHO B(3)
公开年
申请年
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)