国家/地区 韩国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C23(2)
IPC小类 C23C(2) H01L(2)
IPC
发明人 MUN J H(3)
公开年 2014(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)