| 国家/地区 |
韩国(3)
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| IPC部 | H(3) C(2) |
| IPC大类 | H01(3) C23(2) |
| IPC小类 | C23C(2) H01L(2) |
| IPC | |
| 发明人 |
MUN J H(3)
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| 公开年 | 2014(2) |
| 申请年 | 2013(2) |
| 专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(3)
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