国家/地区 韩国(16) 世界知识产权组织(6) 美国(4)
IPC部 C(17) B(13) H(5)
IPC大类 C01(17) B01(10) B82(5)
H01(5) C23(4)
IPC小类 C01B(17) B01J(8) B82B(5)
C23C(4) H01L(4) B01D(3)
IPC C01B031/02(17)
发明人 JEON S(5) OH I K(3) CHOI K C(2)
DOO K I(2) HONG S(2) JIN C S(2)
KIM H(2) KIM H J(2) KONG B S(2)
LEE B(2) LEE J(2) OH I(2)
OH S(2) SEOK W J(2) SONG S H(2)
公开年 2013(10) 2014(5) 2012(2)
申请年 2012(17)
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(17)