国家/地区 | 韩国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(3)
C23(3)
H01(2)
|
IPC小类 |
C01B(3)
C23C(3)
H01L(2)
|
IPC |
C01B031/02(3)
C23C016/26(3)
C23C016/44(2)
H01L021/00(2) |
发明人 |
JEON S(2)
LEE J(2)
OH S(2)
SEOP L J(2) U JEON S(2) |
公开年 |
2012(5)![]() |
申请年 | 2011(2) 2012(2) |
专利权人 |
KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)![]() |
JEON S, LEE J, OH S, RAN O S, SEOP L J, U JEON S, JIN S L, SE R O, SEOK W J
HO K G, IK P U, SEOP L J, SIK J Y, U JEON S, JEON S W, JUNG Y S, KIM K H, LEE J S, PARK W I
KIM S O, HWANG J O, LEE D H