国家/地区 韩国(4) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(3) C23(3) H01(2)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C23C016/26(3) C23C016/44(2)
H01L021/00(2)
发明人 JEON S(2) LEE J(2) OH S(2)
SEOP L J(2) U JEON S(2)
公开年 2012(5)
申请年 2011(2)  2012(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(5)