国家/地区 美国(10)
IPC部 C(9) B(8) H(4)
IPC大类 C01(9) B82(7) H01(4)
B01(3) B32(2) C23(2)
IPC小类 C01B(9) B82Y(7) B01D(2)
B32B(2) B82B(2) C01G(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC C01B031/02(8) B82Y040/00(7) C01B031/04(6)
B82Y030/00(5) B82B003/00(2) C01B031/00(2)
发明人 LEE J(3) LEE J K(3) KIM J K(2)
KOO H Y(2)
公开年 2012(10)
申请年 2011(6)  2012(4) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(10)