国家/地区 台湾(5) 美国(4) 中国(3)
IPC部 C(6) B(4) H(2)
IPC大类 C01(5) B82(4) B32(2)
C04(2) C23(2) H01(2)
IPC小类 C01B(5) B82Y(4) B32B(2)
C04B(2) C23C(2) H01L(2)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B032/20(3)
C01B031/04(2) C04B035/583(2) C04B035/622(2)
C04B035/653(2) C23C014/06(2) H01L021/02(2)
发明人 LIN I(6)
公开年 2013(2) 2018(2)
申请年 2012(2)  2016(2) 
专利权人 LIN I(6)