| 国家/地区 | 美国(3) 德国(2) |
| IPC部 |
B(3)
C(3)
H(3)
|
| IPC大类 |
B82(3)
C01(3)
H01(3)
B32(2) C23(2) |
| IPC小类 |
B82Y(3)
C01B(3)
B32B(2)
C23F(2) H01B(2) H01L(2) |
| IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/04(3)
C01B031/02(2) C23F001/02(2) H01L029/16(2) H01L029/78(2) |
| 发明人 | MAAROUF A(3) MARTYNA G J(3) |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
MAAROUF A(3)
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ABOUKANDIL A, MAAROUF A, MARTYNA G J, MOHAMED H, NEWNS D M
AFZALIARDAKANI A, MAAROUF A, MARTYNA G J, SAENGER K, AFZALIARDAKANI A C O I
BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S
