国家/地区 中国(5)
IPC部 H(4) C(3) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(2)
IPC H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L051/00(2)
H01L051/44(2)
发明人 KIM J(2) KONG J(2)
公开年 2017(3)
申请年 2017(3) 
专利权人 MASSACHUSETTS INST TECHNOLOGY(5)