国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3) C(2)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 H01L(3) C01B(2)
IPC H01L029/16(3) H01L029/778(3) H01L051/05(3)
H01L051/30(3) C01B031/04(2) H01L021/336(2)
H01L029/06(2) H01L029/51(2) H01L029/78(2)
H01L029/786(2)
发明人 SANDHU G(2) SANDHU G S(2)
公开年 2013(2)
申请年
专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC(3)