| 国家/地区 | 日本(4) 美国(3) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | C(4) H(2) |
| IPC大类 | C01(4) H01(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
|
| IPC |
C01B031/02(4)
C01B032/182(3)
C01B031/04(2)
C01B032/186(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) H01L029/66(2) H01L029/786(2) |
| 发明人 | SATO S(2) YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 | 2015(2) |
| 申请年 |
2014(4)
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| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)
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SHIOYAMA H, SAKURAI H, XU Q, KIUCHI M, KIMURA Y, MU C
