国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5) H(4) B(2)
IPC大类 C01(5) H01(4)
IPC小类 C01B(5) H01L(3)
IPC C01B032/182(5)
发明人 SATO S(3) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2014(2) 2015(2)
申请年 2014(3) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(5)