国家/地区 日本(6)
IPC部 C(6) G(3) B(2)
H(2)
IPC大类 C01(6) B32(2) C23(2)
G01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(6) B32B(2) C23C(2)
H01L(2)
IPC C01B032/194(6)
发明人 HASEGAWA M(4) OKIKAWA Y(3) KIRIHARA K(2)
MUKODA M(2)
公开年 2021(6)
申请年 2019(4)  2020(2) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(6)