国家/地区 日本(4) 美国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(2)
IPC小类 C01B(4) H01L(2)
IPC C01B031/02(4) C01B032/182(3) C01B031/04(2)
C01B032/186(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L029/66(2) H01L029/786(2)
发明人 SATO S(2) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2015(2)
申请年 2014(4)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)