国家/地区 日本(4) 世界知识产权组织(2)
IPC部 H(4) G(2)
IPC大类 H01(4) G01(2)
IPC小类 H01J(4)
IPC G01N001/28(2) H01J009/02(2) H01J037/20(2)
发明人 HASEGAWA M(2) KATSUHISA M(2) MASAYOSHI N(2)
MURAKAMI K(2) NAGAO M(2)
公开年 2021(2)
申请年
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)