国家/地区 日本(4) 美国(2)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C01B032/182(3) C01B032/15(2)
C01B032/18(2) H01L021/28(2)
发明人
公开年 2015(4)
申请年 2014(3) 
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)