| 国家/地区 | 日本(4) 美国(2) |
| IPC部 |
C(3)
H(3)
B(2)
|
| IPC大类 | C01(3) H01(3) |
| IPC小类 | C01B(3) H01L(2) |
| IPC |
C01B031/02(3)
C01B032/182(3)
C01B032/15(2)
C01B032/18(2) H01L021/28(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2015(4)
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| 申请年 | 2014(3) |
| 专利权人 |
NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)
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SHIOYAMA H, SAKURAI H, XU Q, KIUCHI M, KIMURA Y, MU C
