国家/地区 日本(4)
IPC部 C(3) H(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3) H01L(3)
IPC C01B031/02(3) C01B032/182(3) H01L029/16(3)
H01L029/66(3) H01L029/786(3) C01B031/04(2)
H01L021/02(2) H01L021/28(2) H01L021/336(2)
H01L029/06(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
H01L051/40(2)
发明人 SATO S(3) YAMAGUCHI J(2)
公开年 2014(2) 2015(2)
申请年 2014(4)
专利权人 NAT INST ADVANCED IND SCI TECHNOLOGY(4)