国家/地区 日本(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(3) H(3) B(2)
IPC大类 C01(3) H01(3) B82(2)
IPC小类 C01B(3) H01L(2)
IPC C01B031/02(3) C01B031/04(2) H01L021/02(2)
H01L029/16(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2)
H01L051/30(2) H01L051/40(2)
发明人 HIURA H(2) TSUKAGOSHI K(2)
公开年 2012(3)
申请年 2011(3) 
专利权人 NAT INST MATERIALS SCI(3)