| 国家/地区 | 欧洲专利局(EPO)(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) |
| IPC部 | H(3) G(2) |
| IPC大类 | H01(3) G01(2) |
| IPC小类 | H01L(3) G01J(2) |
| IPC |
G01J001/04(2)
G01J001/42(2)
G01J003/51(2)
H01L027/146(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 |
ROUVALA M(3)
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| 公开年 | 2016(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
NOKIA TECHNOLOGIES OY(3)
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POHJONEN H, KALLIOINEN S, ROUVALA M A K, POHJONEN K, ROUVALA M
