国家/地区 日本(3)
IPC部 H(3) B(2) C(2)
IPC大类 H01(3) B82(2) C01(2)
IPC小类 H01L(3) B82Y(2) C01B(2)
IPC H01L021/336(3)
发明人 OKAI M(3)
公开年 2011(2)
申请年
专利权人 OKAI M(3)