国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/04(2) H01L021/28(2) H01L051/00(2)
H01L051/52(2)
发明人 CHO K(2)
公开年
申请年
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(3)