| 国家/地区 | 韩国(5) |
| IPC部 |
C(4)
H(4)
B(2)
|
| IPC大类 |
H01(4)
C01(2)
C23(2)
|
| IPC小类 |
H01L(4)
C01B(2)
C23C(2)
|
| IPC |
H01L021/02(3)
C23C016/26(2)
H01L021/324(2)
H01L029/16(2) H01L051/00(2) |
| 发明人 | CHO K W(3) LEE E(2) |
| 公开年 |
2020(5)
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| 申请年 | 2019(3) 2018(2) |
| 专利权人 |
POSTECH ACADIND FOUND(5)
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CHO K, YOO M S, LEE H C, CHO K W, ZHAO J, YU M, LI X
KIMSEONGJUN, SHIN H K, KIM H, KANG M J, SUNG M J, LEE N S
