国家/地区 韩国(5)
IPC部 C(4) H(4) B(2)
IPC大类 H01(4) C01(2) C23(2)
IPC小类 H01L(4) C01B(2) C23C(2)
IPC H01L021/02(3) C23C016/26(2) H01L021/324(2)
H01L029/16(2) H01L051/00(2)
发明人 CHO K W(3) LEE E(2)
公开年 2020(5)
申请年 2019(3)  2018(2) 
专利权人 POSTECH ACADIND FOUND(5)