| 国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) |
| IPC部 |
B(2)
C(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
B82(2)
C01(2)
C23(2)
H01(2) |
| IPC小类 |
B82Y(2)
C01B(2)
C23C(2)
H01L(2) |
| IPC |
B82Y040/00(2)
C01B031/04(2)
C23C016/02(2)
|
| 发明人 |
DING G(2)
JIANG M(2)
TANG S(2)
XIE X(2) |
| 公开年 | 2012(2) |
| 申请年 |
2011(3)
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| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(3)
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CHEN J, DING G, JIANG M, TANG S, WANG C, XIE X
DING G, JIANG M, TANG S, XIE X
CHENG X, HE D, WANG Z, XIA C, XU D, YU Y, ZHANG Y
