国家/地区 中国(7) 世界知识产权组织(3)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(5) C23(3)
IPC小类 C01B(5) C23C(3)
IPC C01B031/04(5) C23C016/26(3)
发明人 DING G(7)
公开年 2012(5) 2013(2)
申请年 2012(7)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)