国家/地区 中国(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(4) C03(2) C23(2)
IPC小类 C01B(4) C23C(2)
IPC C01B032/194(3) C23C016/26(2)
发明人 HU S(7)
公开年 2017(5) 2020(2)
申请年 2016(5) 
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(7)