| 国家/地区 |
世界知识产权组织(4)
|
| IPC部 | C(4) B(3) |
| IPC大类 |
C01(4)
C23(4)
B82(2)
C30(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
C23C(4)
B82Y(2)
C30B(2) |
| IPC |
C01B031/04(3)
C23C016/02(3)
C23C016/26(3)
B82Y040/00(2) C23C016/50(2) |
| 发明人 |
TANG S(4)
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| 公开年 | 2012(3) |
| 申请年 | 2011(2) |
| 专利权人 |
SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)
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WANG H, TANG S, LU G, WU T, JIANG D, DING G, ZHANG X, XIE H, XIE X, JIANG M
DING G, JIANG M, SHEN H, SUN L, TANG S, WU T, XIE X
CHEN J, DING G, JIANG M, TANG S, WANG C, XIE X
