国家/地区 中国(4)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3)
IPC小类 H01L(3)
IPC H01L021/28(2)
发明人 WANG H(4)
公开年 2013(3)
申请年 2012(4)
专利权人 SHANGHAI INST MICROSYSTEM INFORMATION(4)